[实用新型]一种蓝宝石晶体导模法生长装置有效
申请号: | 201520391034.8 | 申请日: | 2015-06-09 |
公开(公告)号: | CN204849117U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 薛卫明;马远;吴勇;周健杰 | 申请(专利权)人: | 江苏中电振华晶体技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
代理公司: | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人: | 滑春生 |
地址: | 226500 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石晶体导模法生长装置,包括晶体生长炉以及安装在炉内的坩埚、模具、吊盘以及安装在吊盘上端面的吊杆,所述模具的下端浸渍在坩埚内的氧化铝熔液中,其上端部安装在吊盘中心并由吊杆带动其上下移动;所述吊杆上还安装一对气体冷却盘,该气体冷却盘水平设置在吊盘的上方。本实用新型的优点在于:本实用新型的生长装置,在晶体生长过程中,利用安装在吊杆上的气体冷却盘,通过调节气体冷却盘内气体流量来控制冷却盘温度以生长界面,避免了碳毡或金属屏,或气体对流换热仅冷却晶体而无法均匀冷却生长界面内部的情况,从而获得均匀稳定的生长界面以获得高品质蓝宝石晶体。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 晶体 导模法 生长 装置 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石晶体导模法生长装置,包括晶体生长炉以及安装在炉内的坩埚、模具、吊盘以及安装在吊盘上端面的吊杆,所述模具的下端浸渍在坩埚内的氧化铝熔液中,其上端端部安装在吊盘中心并由吊杆带动其上下移动;其特征在于:所述吊杆上还安装一气体冷却盘,该气体冷却盘水平设置在吊盘的上方。
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