[实用新型]一种推挽式X轴磁电阻传感器

摘要

本实用新型提出了一种推挽式X轴磁电阻传感器,包括：衬底、位于衬底之上的错列软磁通量集中器阵列和推挽式磁电阻传感单元电桥，还可包括校准线圈和/或重置线圈，所述任一软磁通量集中器存在至少一个软磁通量集中器与之形成错列结构，并沿X方向分别交替形成错列、未错列间隙，所述推/挽磁电阻传感单元串分别位于所述错列、未错列间隙处，并电连接成所述推挽式磁电阻传感单元电桥，且所述磁电阻传感单元有x磁场敏感方向，所述校准线圈和重置线圈分别包括平行和垂直于所述推、挽磁电阻传感单元串的推/挽校准直导线和重置直导线，本实用新型具有结构简单、远高于参考桥式X磁电阻传感单元磁场敏感度和低功耗优点。

主权项

一种推挽式X轴磁电阻传感器,其特征在于，包括：衬底、位于衬底之上的错列软磁通量集中器阵列和推挽式磁电阻传感单元电桥；所述错列软磁通量集中器阵列包括至少两个软磁通量集中器，所述每个软磁通量集中器均包含矩形正X向bar1长条、负X向bar2长条以及一个0磁阻桥，所述bar1长条和bar2长条长轴平行于Y轴方向且短轴平行于X轴方向，所述0磁阻桥长轴平行于X轴方向、短轴平行于Y轴方向且长轴两端分别与bar1长条和bar2长条互联，所述软磁通量集中器之间形成错列结构，并在X方向形成错列间隙GapX1和未错列间隙GapX2；所述推挽式磁电阻传感单元电桥至少包括一个推臂和一个挽臂，所述推臂包括至少一个推磁电阻传感单元串，所述挽臂包括至少一个挽磁电阻传感单元串，所述推、挽磁电阻传感单元串均分别包括多个互联磁电阻传感单元，所述推磁电阻传感单元串位于所述错列间隙GapX1处，所述挽磁电阻传感单元串位于所述未错列间隙GapX2处，且所述磁电阻传感单元的磁场敏感方向为X方向。