[实用新型]匀胶机排风装置及匀胶机有效

专利信息
申请号: 201520396814.1 申请日: 2015-06-10
公开(公告)号: CN204746769U 公开(公告)日: 2015-11-11
发明(设计)人: 李翼;李伟;颜春李;徐根;张诚;周学文 申请(专利权)人: 湖南普照信息材料有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司
主分类号: B05C11/08 分类号: B05C11/08;B05C11/10
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 沈林华
地址: 410205 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种匀胶机排风装置及匀胶机,包括风机、排风管,所述风机与所述排风管相连,还包括至少一根软管和至少一个可调节阀门,其中,所述软管的一端与废胶槽底部相通,所述软管的另一端通过所述可调节阀门与所述排风管相通。本实用新型的匀胶机排风装置及匀胶机,通过可调节阀门来控制软管的关闭,从而来控制基片上面空气的流动,以此来调整光刻胶的干燥速度,使基片表面光刻胶的膜厚均匀性更佳,同时基片表面也不会产生变色不良的情况。
搜索关键词: 匀胶机排风 装置 匀胶机
【主权项】:
一种匀胶机排风装置,包括风机(1)、排风管(2),所述风机(1)与所述排风管(2)相连,其特征在于,所述匀胶机排风装置还包括至少一根软管(3)和至少一个可调节阀门(4),其中,所述软管(3)的一端与废胶槽(5)底部相通,所述软管(3)的另一端通过所述可调节阀门(4)与所述排风管(2)相通。
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