[实用新型]一种单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉，包括单晶炉主体和位于单晶炉主体上方的圆筒形副室，在圆筒形副室的底部外侧焊接圆环形凸台；在圆环形凸台上设有竖向转轴，还包括单晶硅棒托盘，单晶硅棒托盘包括与圆环形凸台的上台面相适配的圆弧形托板，圆弧形托板端部通过竖向转轴与圆环形凸台铰链，在圆弧形托板的下方设有与其同轴心的圆环形托盘，圆环形托盘的环形面与单晶硅棒的截面相适配，圆弧形托板通过与其外端相连接的连接板与圆环形托盘外端连接。本实用新型具有结构简单、操作安全等特点。本实用新型可以在保障生产安全的情况下，在一定程度上提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种单晶炉，包括单晶炉主体和位于单晶炉主体上方的圆筒形副室(1)，其特征在于：在所述圆筒形副室(1)的底部外侧设有圆环形凸台(2)；在所述圆环形凸台(2)上焊接竖向转轴(3)，还包括单晶硅棒托盘，所述单晶硅棒托盘包括与圆环形凸台(2)的上台面相适配的圆弧形托板，所述圆弧形托板端部通过竖向转轴(3)与所述圆环形凸台(2)铰链，在所述圆弧形托板的下方设有与其同轴心的圆环形托盘(5)，所述圆环形托盘(5)的环形面与单晶硅棒的截面相适配，所述圆弧形托板通过与其外端相连接的连接板(6)与所述圆环形托盘(5)外端连接。