[实用新型]一种稳定输出的考夫曼离子源有效
| 申请号： | 201520397770.4 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN204651286U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 乔宪武 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种稳定输出的考夫曼离子源。包括进气孔、阴极和阳极，其特征在于：所述装置的进气孔为阵列结构。本实用新型有益效果：多孔阵列装置，减小了单一孔径气流不稳的缺陷，提高反应气体接触面积，增加接触几率，使离子束平稳输出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 输出 考夫曼 离子源 | ||
【主权项】：
一种稳定输出的考夫曼离子源，包括包括进气孔(1)、阴极(2)和阳极(3)，其特征在于：所述装置的进气孔(1)为阵列结构。
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