[实用新型]一种考夫曼离子源有效

专利信息
申请号: 201520397783.1 申请日: 2015-06-08
公开(公告)号: CN204706535U 公开(公告)日: 2015-10-14
发明(设计)人: 乔宪武 申请(专利权)人: 中国计量学院
主分类号: H01J37/08 分类号: H01J37/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310018 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种离子源,特别涉及一种考夫曼离子源。所述装置的阴极平行于阳极。本实用新型有益效果:所述柱状阴极的电场垂直于柱状阴极,产生均匀的空间电场,因此,均匀的空间电场与气流混合,产生均匀的离子流。
搜索关键词: 一种 考夫曼 离子源
【主权项】:
一种考夫曼离子源,包括进气孔(1)、阴极(2)和阳极(3),其特征在于:阴极(2)平行于阳极(3)。
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