[实用新型]涡轮分子泵有效
| 申请号： | 201520399548.8 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN204805119U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 久野智司 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种涡轮分子泵，在涡轮泵部与螺纹槽泵部之间的流路中能够顺利排出气体分子且能够抑制反应生成物堆积。涡轮分子泵包括：涡轮泵部(TP)，具有交替配置的多个固定叶片级(21)及旋转叶片级(12)；螺纹槽泵部(SP)，具有设置于涡轮泵部(TP)的下游侧的转子圆筒部(13)及定子(22)，且在转子圆筒部(13)及定子(22)的其中一个上形成着螺纹槽部；以及流路(200)，将从涡轮泵部(TP)排出的气体分子向螺纹槽泵部(SP)引导。而且，在流路(200)上设置着面向流路的定子(22)的上端面(221)及底座(20)的上端面(201)，来作为朝转子圆筒部(13)方向而向下倾斜的倾斜面。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
一种涡轮分子泵，其特征在于包括：涡轮泵部，具有多个固定叶片级与旋转叶片级；螺纹槽泵部，具有圆筒转子及定子，在所述圆筒转子及所述定子的其中一个上形成着螺纹槽；以及流路，形成于所述涡轮泵部和所述螺纹槽泵部之间，所述流路上设置着朝所述圆筒转子方向而向下倾斜的倾斜面。
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