[实用新型]一种匹配束流为平行束的带电粒子照相装置

摘要

本实用新型公开了一种匹配束流为平行束的带电粒子照相装置，包括束流传输线和光学成像结构，所述束流传输线包括呈中心对称的前段四极磁铁组和后段四极磁铁组，光学成像结构位于束流传输线的末端，其中前段四极磁铁组和后段四极磁铁组形状完全相同且均包括四块完全相同的四极磁铁，在前段四极磁铁组和后段四极磁铁组的中心对称点上还安装角度准直器，前段四极磁铁组的传输矩阵采用四阶矩阵M：四阶矩阵M为满足平行束入射条件为：M₁₁＝0、M₂₂＝0、M₃₃＝0、M₄₄＝0的四阶传输矩阵，以上矩阵元素的前、后下标分别表示该元素所在的行和列。本实用新型采用上述结构，采用点对点成像，且匹配束流为平行束，能够克服点光源照相图像模糊的缺陷，提高照相的分辨率。

主权项

一种匹配束流为平行束的带电粒子照相装置，包括束流传输线和光学成像结构，其特征在于，所述束流传输线包括呈中心对称的前段四极磁铁组(3)和后段四极磁铁组(5)，光学成像结构位于束流传输线的末端，其中前段四极磁铁组(3)和后段四极磁铁组(5)形状完全相同且均包括四块完全相同的四极磁铁，在前段四极磁铁组(3)和后段四极磁铁组(5)的中心对称点上还安装角度准直器(4)，前段四极磁铁组(3)的传输矩阵采用四阶矩阵M：四阶矩阵M为满足平行束入射条件为：M₁₁＝0、M₂₂＝0、M₃₃＝0、M₄₄＝0的四阶传输矩阵，以上矩阵元素的前、后下标分别表示该元素所在的行和列。