[实用新型]基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器有效
| 申请号： | 201520415749.2 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN204680140U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 崔晓光 | 申请（专利权）人： | 沧州市博瑞科技信息技术有限公司 |
| 主分类号： | G08B13/191 | 分类号： | G08B13/191 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 061000 河北省沧州市*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器，其包括四个MEMS红外传感单元a、b、c和d，四个MEMS红外传感单元组成差分式电压判定结构；传感单元a的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元a的最上层附设有多晶硅层；传感单元b的硅基上不设置空腔，传感单元b的最上层附设有所述多晶硅层；传感单元c的硅基上不设置空腔，传感单元c的最上层也不附设所述多晶硅层；传感单元d的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元d的最上层不附设多晶硅层。本实用新型通过差分法比较四个传感单元的电压状态即可判定监测区域内有无人体体温波段辐射源存在。四个传感单元结构不同，在吸收到相同波段的红外波时，产生的热电差会有很大区别，对比起热电差，即可判断有无红外辐射源，从而判断人体入侵状态。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 分式 红外线 入侵 探测器 | ||
【主权项】：
一种基于MEMS技术的差分式红外线入侵探测器，其特征在于，其包括四个MEMS红外传感单元a、b、c和d，四个MEMS红外传感单元组成差分式电压判定结构；传感单元a的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元a的最上层附设有多晶硅层；传感单元b的硅基上不设置空腔，传感单元b的最上层附设有所述多晶硅层；传感单元c的硅基上不设置空腔，传感单元c的最上层也不附设所述多晶硅层；传感单元d的硅基上设置有采用XeF2深刻蚀的空腔，传感单元d的最上层不附设多晶硅层。
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