[实用新型]一种高能紫外光学镜片测量装置有效
| 申请号： | 201520420745.3 | 申请日： | 2015-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN205049317U | 公开（公告）日： | 2016-02-24 |
| 发明（设计）人： | 范元媛;周翊;宋兴亮;王倩;张立佳;单耀莹;蔡茜玮;彭卓君;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/59 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高能紫外光学镜片测量装置，装置的激光光源(1)产生高能紫外脉冲激光，反射光栅(6)接收该脉冲激光，并将该脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作为参考光，待测镜片(3)放置于测量光的光路上；第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量；第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。本实用新型的方法通过测量放入和未放入待测镜片时的各能量探测器的读数，并计算得到其透过率。本实用新型消除了激光光源能量抖动以及分光片导致分光比抖动对光学镜片透过率测量的影响，对待测镜片的厚度和尺寸无要求，能够实现精确且方便的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高能 紫外 光学镜片 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种高能紫外光学镜片测量装置，包括激光光源(1)、反射光栅(6)、第一能量探测器(4)和第二能量探测器(5)，其中，所述激光光源(1)用于产生高能紫外脉冲激光；所述反射光栅(6)用于接收所述激光光源(1)发射的高能紫外脉冲激光，但所述高能紫外脉冲激光不经过所述反射光栅(6)的衬底内部，该反射光栅将该高能紫外脉冲激光进行衍射分束，取其中能量最强的一级作为测量光，能量次强的一级作为参考光，待测镜片(3)放置于测量光的光路上；所述第一能量探测器(4)用于探测参考光的能量；所述第二能量探测器(5)用于探测测量光的能量。
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