[实用新型]真空腔室间强隔离装置有效
| 申请号： | 201520432093.5 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN204848659U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 贺强 | 申请（专利权）人： | 中建材（内江）玻璃高新技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/00 | 分类号： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 641200 四川省内*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了真空腔室间的强隔离装置，其包括位于前阴极腔室和后阴极腔室之间的隔离腔，设置在隔离腔顶部的真空泵和设置在隔离腔内、用于将传输玻璃的腔室与隔离腔内的气体分隔开的上隔离板；腔室内相邻传输辊之间、传输辊与前阴极腔室的腔壁之间和传输辊与后阴极腔室的腔壁之间设置有间隔隔板，传输的玻璃经过间隔隔板、传输辊与上隔离板之间形成的通道；上隔离板位于每个传输辊正上方的那部分均匀地设置有若干用于调节通道内的气体流入隔离腔内的流量大小的气体调节装置。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 室间强 隔离 装置 | ||
【主权项】：
真空腔室间的强隔离装置，包括位于前阴极腔室和后阴极腔室之间的隔离腔，设置在隔离腔顶部的真空泵和设置在隔离腔内、用于将传输玻璃的腔室与隔离腔内的气体分隔开的上隔离板；其特征在于：所述腔室内相邻传输辊之间、传输辊与前阴极腔室的腔壁之间和传输辊与后阴极腔室的腔壁之间设置有间隔隔板，传输的玻璃经过所述间隔隔板、传输辊与上隔离板之间形成的通道；所述上隔离板位于每个传输辊正上方的那部分均匀地设置有若干用于调节通道内的气体流入隔离腔内的流量大小的气体调节装置。
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