[实用新型]一种新式罗茨真空泵

摘要

本实用新型公开了一种新式罗茨真空泵，其包括金属真空泵壳体、控制器，金属真空泵壳体内部的真空泵腔室嵌装两个叶形转子，金属真空泵壳体开设进、出风孔，金属真空泵壳体外表面装设至少两个半导体制冷组件，半导体制冷组件包括半导体制冷片，半导体制冷片的热面装设制冷片散热器，制冷片散热器设置散热器鳍片，半导体制冷片冷面与金属真空泵壳体外表面之间装设导热胶层，导热胶层卡装于半导体制冷片与金属真空泵壳体之间；金属真空泵壳体外表面于半导体制冷组件旁侧设置真空泵壳体鳍片，金属真空泵壳体于出风孔位置装设温度传感器。通过上述结构设计，本实用新型具有结构设计新颖、散热效果好、使用寿命长、稳定可靠性好的优点。

主权项

一种新式罗茨真空泵，其特征在于：包括有金属真空泵壳体（1），金属真空泵壳体（1）的内部成型有真空泵腔室（11），金属真空泵壳体（1）于真空泵腔室（11）内可相对转动地嵌装有两个反向同步旋转的叶形转子（2），金属真空泵壳体（1）开设有对齐布置的进风孔（12）、出风孔（13），进风孔（12）、出风孔（13）分别与真空泵腔室（11）连通；金属真空泵壳体（1）的外表面装设有至少两个半导体制冷组件（3），各半导体制冷组件（3）分别包括有半导体制冷片（31），半导体制冷片（31）的热面侧装设制冷片散热器（32），制冷片散热器（32）与半导体制冷片（31）的热面触接，制冷片散热器（32）设置有朝背离半导体制冷片（31）侧延伸的散热器鳍片（321），散热器鳍片（321）与制冷片散热器（32）一体成型，半导体制冷片（31）的冷面与金属真空泵壳体（1）的外表面之间装设有导热胶层（33），导热胶层（33）卡装于半导体制冷片（31）与金属真空泵壳体（1）之间，半导体制冷片（31）的冷面、导热胶层（33）以及金属真空泵壳体（1）外表面依次触接；金属真空泵壳体（1）的外表面于半导体制冷组件（3）的旁侧设置有朝外凸出延伸且呈均匀间隔分布的真空泵壳体鳍片（14），真空泵壳体鳍片（14）与金属真空泵壳体（1）一体成型，金属真空泵壳体（1）于出风孔（13）位置装设有伸入至出风孔（13）内部的温度传感器（4），该新式罗茨真空泵配装有控制器（5），温度传感器（4）以及各半导体制冷片（31）分别与控制器（5）电连接。