[实用新型]一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统

摘要

本实用新型涉及一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，它包括废液槽、与所述废液槽相连通的氟硅酸去除组件、与所述氟硅酸去除组件相连通的氢氟酸去除组件以及与所述氢氟酸去除组件相连通的硝酸收集组件。通过设置依次相连通的氟硅酸去除组件、氢氟酸去除组件和硝酸收集组件，这样能够依次将氟硅酸、氢氟酸去除后对硝酸进行收集，这样使得三种酸在去除时不会相互干扰，确保最大限度的实现了氟硅酸根离子、氟离子和硝酸的回收，产生了大量可以利用的产品，且没有产生二次污染物，解决了混酸废液处理的问题，整个处理系统经济、环保、稳定。

主权项

一种多晶硅制绒刻蚀废液的回收再利用系统，其特征在于：它包括废液槽（1）、与所述废液槽（1）相连通的氟硅酸去除组件（3）、与所述氟硅酸去除组件（3）相连通的氢氟酸去除组件（4）以及与所述氢氟酸去除组件（4）相连通的硝酸收集组件（5）。