[实用新型]直写式曝光系统中的扫描台有效
| 申请号： | 201520474307.5 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN205121156U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王友车;张国龙;吴斌 | 申请（专利权）人： | 苏州微影光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡中瑞知识产权代理有限公司 32259 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215636 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板，所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁，两压板横梁均横跨台面板，所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座，该安装座与台面板相对固定，各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置，所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接，同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁，利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住，这样在曝光软性曝光板的时候，就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。 | ||
| 搜索关键词： | 直写式 曝光 系统 中的 扫描 | ||
【主权项】：
直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板（1），其特征在于，所述台面板（1）上方设置有两根相互平行且平行于台面板（1）的压板横梁（2），两压板横梁（2）均横跨台面板（1），所述台面板（1）的侧面设置有与压板横梁（2）的各个端部相对应的安装座（3），该安装座（3）与台面板（1）相对固定，各个安装座（3）上分别设置有一个升降驱动装置（4），所述压板横梁（2）的两端分别与对应安装座（3）上的升降驱动装置（4）相连接，同一压板横梁（2）两端的升降驱动装置（4）同步驱动该压板横梁（2）上下移动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州微影光电科技有限公司，未经苏州微影光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520474307.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带变形变径体的多磁场源组合空气磁化装置
- 下一篇：手推杆轮椅
