[实用新型]一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统

摘要

一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，包括储液罐、补液罐和用于测量补液罐重量的称重装置，补液罐上设有分别向沉积炉腔体输送正硅酸乙酯的进液管Ⅰ和向补液罐内补充正硅酸乙酯的补液管，储液罐上的进液管Ⅱ通过连接管与补液管以可拆卸方式连通。本实用新型使用称重替代使用液位计的方法来确定不锈钢瓶内的正硅酸乙酯量，该方法使用市面上容易购买且价格相对低很多的称重装置替代价格高昂且需要进口的专用液位计，降低了采购周期、采购成本及后期的校准等维护成本，同时在不锈钢瓶上不需要增加液位计口，也降低了不锈钢瓶的成本，称重装置不和正硅酸乙酯液体接触，避免了引入沾污的可能。

主权项

一种低压化学气相沉积炉用正硅酸乙酯补充系统，其特征在于：包括储液罐（1）、补液罐（2）和用于测量补液罐（2）重量的称重装置（3），其中，补液罐（2）上设有分别向沉积炉腔体输送正硅酸乙酯的进液管Ⅰ（201）和向补液罐（2）内补充正硅酸乙酯的补液管（202），所述储液罐（1）上设置有向其内输送正硅酸乙酯的进液管Ⅱ（101），进液管Ⅱ（101）上连接有一根连接管（4），连接管（4）与补液管（202）以可拆卸方式连通，所述进液管Ⅰ（201）上设置有进液阀Ⅰ（203），补液管（202）上依次设置有补液阀Ⅰ（204）和补液阀Ⅱ（205），连接管（4）上设置有手动阀（401），进液管Ⅱ（101）上依次设置有进液阀Ⅱ（102）和进液阀Ⅲ（103），且连接管（4）与进液管Ⅱ（101）连接的一端连接点位于进液阀Ⅱ（102）和进液阀Ⅲ（103）之间的位置。