[实用新型]一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置

摘要

本实用新型公开了一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，包括伺服电机、静压主轴、横梁支撑板、主轴轴套和机床横梁，静压主轴从上至下依次同轴设置有输入端部件、上止推盘、轴心和下止推盘，主轴轴套设在轴心外侧，静压主轴的顶端设置有高精度标准平晶；伺服电机的转子设置在输入端部件外侧上端，电机定子通过机壳与机床横梁支撑板相连，下止推盘下方的微进给刀架设有金刚石刀具，横梁支撑板顶端通过龙门支架安装有激光动态干涉仪，激光动态干涉仪上连接有干涉仪激光源模块、计算机以及干涉仪遥控器。该装置操作简单，测量结果准确可靠，测量精度高，不受实验环境影响，能实现对纳米级精度直驱式超精密静压主轴的动态性能在线测量。

主权项

一种用于测试静压主轴运动精度的立式超精密装置，包括伺服电机、静压主轴、横梁支撑板（8）、主轴轴套（11）、机床横梁（13）、微进给刀架（14）和金刚石刀具（15），其特征在于，所述静压主轴从上至下依次同轴设置有输入端部件（7）、上止推盘（9）、轴心（10）和下止推盘（12），输入端部件（7）通过螺栓安装在上止推盘（9）上，所述上止推盘（9）、轴心（10）和下止推盘（12）通过螺栓连接，所述主轴轴套（11）设置在轴心（10）外侧，所述静压主轴的顶端设置有高精度标准平晶（2）；伺服电机包括电机定子（4）、电机转子（5）和机壳（6），电机转子（5）安装在输入端部件（7）外侧上端，电机定子（4）与电机转子（5）对应设置，电机定子（4）通过机壳（6）与机床横梁支撑板（8）相连，横梁支撑板（8）固定安装在机床横梁（13）上；所述主轴轴套（11）通过螺栓直接固定在机床横梁（13）上；所述微进给刀架（14）安装在下止推盘（12）的下方，所述金刚石刀具（15）安装在微进给刀架（14）下端，微进给刀架（14）下端的下方设有真空吸盘（17）；所述横梁支撑板（8）的顶端固定安装有龙门支架（3），龙门支架（3）的内部一侧安装有激光动态干涉仪（1），激光动态干涉仪（1）上连接有干涉仪激光源模块（20）和计算机（18），干涉仪激光源模块（20）上连接有干涉仪遥控器（19）。