[实用新型]基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统有效
| 申请号： | 201520484556.2 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN205003080U | 公开（公告）日： | 2016-01-27 |
| 发明（设计）人： | 吴彤;李艳;刘友文;王吉明;赫崇君;顾晓蓉;王青青 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N21/45 | 分类号： | G01N21/45;G01B11/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，基于谱域低相干干涉探测系统，通过将被测样品插入样品臂光路，使得一部分光束穿透被测样品，另一部分光束不通过被测样品，两部分光都照射在一块平面反射镜上并通过反射返回系统。从被测样品前、后表面返回的光之间形成一组干涉信号，从样品臂中的平面反射镜反射回的、穿透被测样品与不通过样品的光束之间形成另一组干涉信号，通过光谱仪对这两组干涉信号的光谱进行探测，通过计算机进行数据采集及处理，能同时得到被测样品的厚度与折射率信息。该测量系统具有的优点有，不需移动系统中的任何元件、结构稳定，只需一次测量即可同时得到被测样品的折射率和厚度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 干涉仪 折射率 厚度 同步 测量 系统 | ||
【主权项】：
基于谱域干涉仪的折射率和厚度同步测量系统，包括宽带光源(1)、光纤环行器(2)、样品臂(3)、光谱仪(4)和计算机(5)，其中，样品臂(3)包括第一光纤准直镜(6)、被测样品(7)、第一聚焦透镜(8)和平面镜(9)，光谱仪(4)包括第二光纤准直镜(10)、衍射光栅(11)、第二聚焦透镜(12)和探测器CCD(13)，其特征在于：进入样品臂(3)的探测光束一部分透过被测样品(7)被收集和分析，另一部分光束不透过被测样品(7)被收集和分析，探测器CCD(13)探测从被测样品(7)前、后表面反射回来的光信号，从平面镜(9)反射回来的经过以及不经过被测样品(7)的光信号。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京航空航天大学，未经南京航空航天大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520484556.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：文档管理系统中目录数据的显示方法及系统
- 下一篇：用于促进排尿的草本组合物
