[实用新型]自动喷淋式旋干设备用转子及其设备

摘要

本实用新型公开一种自动喷淋式旋干设备用转子，属于半导体设备领域，包括转子本体(1)、若干槽位及若干圆洞(11)，槽位包括第一槽位(12)、第二槽位(13)、第三槽位(14)、第四槽位(15)和第五槽位(16)，第三槽位设置在转子本体的中心，第一槽位与第四槽位对称设置在第三槽位两侧，第二槽位与第五槽位对称设置在第三槽位两侧，第一槽位、第二槽位、第四槽位、第五槽位规则排列在第三槽位的外围；每个槽位内均设有固定块(122)及(121)，固定块设置在晶舟盒(2)底部，挡杆设置在晶片(3)顶部；本实用新型还提供了一种装有上述转子的设备。该转子可有效增加产能，有效起到固定晶舟盒，减少甩片，避免碎片的作用。

主权项

一种自动喷淋式旋干设备用转子，包括可安装在喷淋式旋干设备上的转子本体(1)、设置在转子本体(1)上用于放置晶舟盒(2)及晶片(3)的若干槽位及设置在转子本体(1)上的若干圆洞(11)，其特征在于：所述的槽位包括第一槽位(12)、第二槽位(13)、第三槽位(14)、第四槽位(15)和第五槽位(16)，第三槽位(14)设置在转子本体(1)的中心，所述的第一槽位(12)与第四槽位(15)对称设置在第三槽位(14)两侧，所述的第二槽位(13)与第五槽位(16)对称设置在第三槽位(14)两侧，第一槽位(12)、第二槽位(13)、第四槽位(15)、第五槽位(16)规则排列在第三槽位(14)的外围；所述每个槽位内均设有用于固定晶舟盒(2)的固定块(122)及用于固定晶片(3)的挡杆(121)，所述固定块(122)设置在晶舟盒(2)底部，挡杆(121)设置在晶片(3)顶部。