[实用新型]金刚石线切割硅片冷却液回收系统

摘要

本实用新型公开了金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其包括太阳能硅片切割设备、冷却液供给泵、冷却液回收泵、冷却液桶和单晶原料仓，其还包括有废液收集池、过滤装置、调配箱、硅粉收集箱，冷却液桶上还设有溢流出口和补液口。优点：通过本实用新型系统，可以实现冷却液的循环利用，同时，冷却液时时被过滤，降低冷却液中硅粉含量，提高冷却液的质量，因此，有效的改善切割环境，提升切割硅片的合格率；可有效回收利用冷却水及浓缩冷却液，降低排污量；可减少冷却水及浓缩冷却剂的使用量，降低生产成本；由于冷却液更换无需人工操作，可降低员工劳动强度。

主权项

金刚石线切割硅片冷却液回收系统，其包括太阳能硅片切割设备、冷却液供给泵、冷却液回收泵、冷却液桶和单晶原料仓，所述冷却液桶的供液口与所述冷却液供给泵的进口连接，所述冷却液供给泵的出口与所述太阳能硅片切割设备的冷却液进口连接，所述太阳能硅片切割设备的冷却液出口与所述冷却液回收泵的进口连接，所述冷却液回收泵的出口与所述冷却液桶的回液口连接，其特征在于，其还包括有废液收集池、过滤装置、调配箱、硅粉收集箱，所述冷却液桶上还设有溢流出口和补液口，所述溢流出口与所述废液收集池的进口连接，所述废液收集池的出口与所述过滤装置的进口连接，所述过滤装置的冷却液出口与所述调配箱的进口连接，所述调配箱的出口与所述补液口连接，所述过滤装置的硅粉出口与所述硅粉收集箱的进口连接，所述硅粉收集箱的出口与所述单晶原料仓的进料口连接。