[实用新型]气体外循环型热丝 CVD 金刚石膜生长装置

摘要

本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置。该装置在密闭真空室中设置反应腔，反应腔顶端设有循环通风口，循环通风口的下方反应腔中并排设置加热管组，反应腔内加热管组的下方设有放置硅片衬底的衬底盘，衬底盘上设有热电偶；真空室的顶部设有进气口，真空室的底部设有抽气口；循环进风口通过管路与真空室的侧面连通，形成外循环风道。本实用新型可以实现金刚石膜的大面积、高速率生长，并减少氢气的消耗，降低生产成本。

主权项

一种气体外循环型热丝CVD金刚石膜生长装置，其特征在于，该装置在密闭真空室中设置反应腔，反应腔顶端设有循环通风口，循环通风口的下方反应腔中并排设置加热管组；循环进风口通过管路与真空室的侧面连通，形成外循环风道。