[实用新型]电浆设备之臭氧侦测装置有效
| 申请号： | 201520491025.6 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204855480U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李雅铃 | 申请（专利权）人： | 兆旸科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京慧泉知识产权代理有限公司 11232 | 代理人： | 王顺荣;唐爱华 |
| 地址： | 中国台湾台南市永康*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种电浆设备之臭氧侦测装置，主要是在该电浆设备的排气机构上至少设有一臭氧侦测器，用于侦测前述玻璃基板周遭臭氧浓度，该排气机构与一输入单元连接，以输入臭氧浓度的设定值及显示臭氧浓度；使该玻璃基板通过该排气机构时，吸出附着于该玻璃基板上的有机物时，若臭氧浓度超出设定值，该输入单元即发出警报声响，同时令电浆设备停止运转，待用户前往排除臭氧浓度过高的情况后，用户再重新启动电浆设备，由此提高玻璃基板的制成合格率，且可实时监控电浆设备处理效能，以确保玻璃基板的最佳制成。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 臭氧 侦测 装置 | ||
【主权项】：
一种电浆设备之臭氧侦测装置，该电浆设备是由一输送机构、及一搭接于该输送机构上、下方的排气机构所组成；其中，该输送机构用于输送一玻璃基板，该玻璃基板通过前述排气机构时，由该排气机构进一步吸出附着于该玻璃基板上的有机物，其特征在于：该排气机构至少设有一臭氧侦测器，用于侦测前述玻璃基板周遭的臭氧浓度；该臭氧侦测器与一输入单元电性连接，由该输入单元输入臭氧浓度的设定值及显示臭氧浓度，且臭氧浓度超过设定值会发出警报声响，并进一步令前述电浆设备停止运转。
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