[实用新型]一种在线镀膜液态原料传输系统有效
申请号: | 201520500255.4 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN204849022U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 赵长海;马晓峰;于小军 | 申请(专利权)人: | 上海耀皮玻璃集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C03C17/00 |
代理公司: | 上海华工专利事务所(普通合伙) 31104 | 代理人: | 缪利明;刘淑芹 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种在线镀膜液态原料传输系统,包括加压气源,加压气源通过气管与加压模块连接,加压模块连接有排气管且通过连接气管与缓冲罐连接,缓冲罐通过气管与流量控制模块连接;流量控制模块包括与缓冲罐连接的第一连接支气管和第二连接支气管,第一连接支气管和第二连接支气管上各连接有一个流量控制组;第一连接支气管和第二连接支气管之间连接有互通管,互通管自上往下依次连接有第五气阀、第一排气支管、第二排气支管、第六气阀;第一连接支气管和第二连接支气管与互通管连接端往右分别连接有第一蒸发器气阀和第二蒸发器气阀;第一排气支管连接第二排气阀后与排气管连接;第二排气支管连接第三排气阀后与第一气管连接。 | ||
搜索关键词: | 一种 在线 镀膜 液态 原料 传输 系统 | ||
【主权项】:
一种在线镀膜液态原料传输系统,包括加压气源,其特征是:所述的加压气源通过气管与加压模块连接,所述的加压模块包括与加压气源连接的第一加压气阀,所述的第一加压气阀设置在第一气管上,所述的第一气管分别连接有第一支气管和第二支气管,所述的第一支气管上连接有第二加压气阀,所述的第二加压气阀往下设有排气管与第一支气管连接,所述的排气管上设有第一排气阀;所述的第一支气管与排气管连接处往下部分与液态原料储存罐连接,且此部分上还设有第一气阀;所述的液态原料储存罐还与第二支气管连接;所述的第二支气管上连接有第二气阀,所述的第二气阀往上连接有连接气管,所述的第二支气管与连接气管连接处和第二支气管与第一气管连接处之间由下往上依次设有第三加压阀和单向气阀;所述的连接气管上设有第三气阀且尾端与缓冲罐连接,所述的缓冲罐通过气管与流量控制模块连接;所述的流量控制模块包括与缓冲罐连接的第一连接支气管和第二连接支气管,所述的第一连接支气管和第二连接支气管上各连接有一个结构相同的第一流量控制组和第二流量控制组;所述的第一连接支气管和第二连接支气管之间连接有互通管,所述的互通管自上往下依次连接有第五气阀、第一排气支管、第二排气支管、第六气阀;所述的所述的第一连接支气管和第二连接支气管与互通管连接端往右分别连接有第一蒸发器气阀和第二蒸发器气阀,且最右端分别和一号蒸发器和二号蒸发器连接;所述的第一排气支管连接第二排气阀后与排气管连接;所述的第二排气支管连接第三排气阀后与第一气管连接,其与第一气管连接后再与第四排气阀连接最后与排气管连接,所述的排气管尾端与排气管线连接。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的