[实用新型]一种半导体集成电感有效
| 申请号： | 201520512656.1 | 申请日： | 2015-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN204792780U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 黄清华;陈高鹏 | 申请（专利权）人： | 宜确半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L27/13;H01L27/06 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;丁浩秋 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体集成电感，包括衬底、第一金属走线和第二金属走线，衬底包括第一表面和第二表面，第一表面平行设置有至少两条第一金属走线，第二表面平行设置有至少一条第二金属走线，第一金属走线和第二金属走线包括首端和末端，第一金属走线的第一条的首端为电感的第一端口，第一金属走线的最后一条的末端为电感的第二端口，衬底设置有贯穿第一表面和第二表面的晶圆通孔，晶圆通孔内填充有导电金属材料，第一金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第二金属走线的第n条的首端，第二金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第一金属走线的第n+1条的首端。具有高Q值、高电感密度特性，并且性能高、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 集成 电感 | ||
【主权项】：
一种半导体集成电感，包括衬底、第一金属走线和第二金属走线，其特征在于，所述衬底包括第一表面和第二表面，所述第一表面平行设置有至少两条第一金属走线，所述第二表面平行设置有至少一条第二金属走线，所述第一金属走线和第二金属走线包括首端和末端，所述第一金属走线的第一条的首端为电感的第一端口，所述第一金属走线的最后一条的末端为电感的第二端口，所述衬底设置有贯穿第一表面和第二表面的晶圆通孔，所述晶圆通孔内填充有导电金属材料，所述第一金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第二金属走线的第n条的首端，第二金属走线的第n条的末端通过晶圆通孔连接第一金属走线的第n+1条的首端。
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