[实用新型]一种偏角度切割组合式工件夹具有效
| 申请号： | 201520515344.6 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN204773088U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 寇文杰;史舸;焦二强;王晓飞;魏海霞 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种偏角度切割组合式工件夹具，适用于半导体晶圆硅片加工。本实用新型中燕尾棱晶托（2）解决了晶圆硅片切割中当晶棒切割到线网下时，晶棒的一端会碰到线网接料盒的端面，造成切割设备过载报警或者整支晶棒的破碎和报废问题，燕尾棱型结构设计的晶托（2）配合新设计的燕尾槽（5），充分利用两只晶棒中间的空间，实现了6英寸及以下晶棒偏角度切割。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏角 切割 组合式 工件 夹具 | ||
【主权项】：
一种偏角度切割组合式工件夹具，其特征是：所述的偏角度切割组合式工件夹具，主要是由工件板（1）、晶托（2）、顶丝（3）、斜铁（4）、燕尾槽（5）、燕尾棱夹具（6）构成；其中，工件板（1）通过内六方螺丝与晶托（2）连接在一起；晶托（2）安装在燕尾棱夹具（6）上；斜铁（4）通过顶丝（3）压紧晶托（2）和燕尾槽（5），使晶托（2）和燕尾槽（5）紧密配合在一起；燕尾槽（5）通过内六方螺丝与设备的进给机构（7）连接。
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