[实用新型]一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置有效
| 申请号： | 201520517571.2 | 申请日： | 2015-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN204788857U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 顾宏伟;茅嘉原;李敏;王士峰;洪海燕;严金林 | 申请（专利权）人： | 苏州普耀光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/32 | 分类号： | G01M3/32;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215163 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，包括烘箱和检漏干燥管，所述烘箱上设置有氦气入口，所述检漏干燥管贯穿烘箱内部，检漏干燥管一端设置有检漏仪，检漏干燥管另一端设置有真空泵，靠近检漏仪一端的检漏干燥管上设置有氮气入口管，靠近真空泵一端的检漏干燥管上依次设置有干燥柱、水氧检测仪和内漏检测口，所述内漏检测口位于烘箱内部。本实用新型结构合理，在一个装置内可以对高纯金属有机化合物钢瓶进行烘干并检漏，避免了因工序衔接而引入新的污染源，保证了MO”源钢瓶的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 金属 有机化合物 钢瓶 烘干 检漏 装置 | ||
【主权项】：
一种高纯金属有机化合物钢瓶烘干检漏装置，其特征在于，包括烘箱和检漏干燥管，所述烘箱上设置有氦气入口，所述检漏干燥管贯穿烘箱内部，检漏干燥管一端设置有检漏仪，检漏干燥管另一端设置有真空泵，靠近检漏仪一端的检漏干燥管上设置有氮气入口管，靠近真空泵一端的检漏干燥管上依次设置有干燥柱、水氧检测仪和内漏检测口，所述内漏检测口位于烘箱内部。
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