[实用新型]一种太阳能电池扩散尾气控制装置有效
| 申请号： | 201520522365.0 | 申请日： | 2015-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN204982138U | 公开（公告）日： | 2016-01-20 |
| 发明（设计）人： | 徐峰;陈五军;陈刚 | 申请（专利权）人： | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/18 | 分类号： | C30B31/18;H01L31/18 |
| 代理公司： | 佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 | 代理人： | 张伶俐 |
| 地址： | 528100 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种太阳能电池扩散尾气控制装置，包括扩散石英炉管、积液瓶和冷凝瓶，所述积液瓶设置在所述扩散石英炉管与所述冷凝瓶的第一端口之间且依次连通，所述冷凝瓶的第二端口通过波纹酸排管连接有积液瓶，所述波纹酸排管上设置有总尾气调节阀；所述冷凝瓶的第三端口连接有氮气管，在接近于所述冷凝瓶的第三端口设置有负压传感器，在氮气管上分别连接有氮气流量控制装置和单向阀。本实用新型的太阳能电池扩散尾气控制装置具有结构简单、提高晶硅太阳能电池的发电效率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 扩散 尾气 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池扩散尾气控制装置，包括扩散石英炉管、积液瓶和冷凝瓶，所述积液瓶设置在所述扩散石英炉管与所述冷凝瓶的第一端口之间且依次连通，所述冷凝瓶的第二端口通过波纹酸排管连接有酸排管道，其特征在于：所述波纹酸排管上设置有总尾气调节阀；所述冷凝瓶的第三端口连接有氮气管，在接近于所述冷凝瓶的第三端口设置有负压传感器，在氮气管上分别连接有氮气流量控制装置和单向阀。
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