[实用新型]一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构

摘要

本实用新型提供一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构，从左向右顺着管路方向依次包括泵前螺旋手动阀，主泵、模拟信号压差计、球阀、三通管道，双磷阱和尾气处理系统以及管道外加热系统；泵前手阀前端是蝶阀，后端连接主泵，主泵后方通过三通法兰将泵后截止阀、压差计和球阀连接，球阀又通过三通管道与两个磷阱相连，磷阱前后端各设置两个球阀，上方分别设置有进水口和出水口，连接冷凝器，磷阱后方两个球阀后通过三通管道汇合成一路，再通已球阀和尾气处理系统连接。管道外都有高温加热衣维持温度，双磷阱以小车形式外接出MOCVD。

主权项

一种MOCVD设备可切换式尾气管路结构：从左向右顺着管路方向依次包括泵前手动阀(13)、主泵(10)、模拟信号压差计(14)、球阀(a)、球阀(b) 、球阀(c)、球阀(d)、球阀(e)、磷阱(Ⅰ)、磷阱(Ⅱ)、冷凝器、球阀(f)、球阀(g)、球阀(h)、球阀(i)、球阀(j)、尾气处理系统12和加热衣；泵前手阀前端为控制气体流入量的蝶阀，下方为主泵，主泵后方通过三通法兰将泵后截止阀、压差计(14)和球阀(a)连接，球阀(a)又通过三通管与两路磷阱连接，磷阱两端分别设置4个球阀(b)、球阀(c)、球阀(d)、球阀(e)、磷阱后端为球阀(f)、球阀(g)、球阀(h)、球阀(i)，磷阱入口方向分别设置有进水口和出水口通入冷凝器，磷阱后端球阀通过三通汇合成一路，再连接球阀（j）、三通法兰将放空线和尾气处理系统连接，最后再将所有主管道加热衣包裹。