[实用新型]一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置有效
| 申请号： | 201520527990.4 | 申请日： | 2015-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN204819184U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 王文卫;胡晓亮;张磊;赵文龙;高烨 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B01D35/16 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置，在装有滤芯的抛光液筒相对的两侧分别设置有带有进液球阀的抛光液进液管和带有排液球阀的抛光液排液管，高压纯水供应管道通过高压纯水支管Ⅱ和高压纯水支管Ⅰ与抛光液进液管和抛光液排液管连接，通过控制这四条管道上设置的球阀的通断，实现对抛光液筒内滤芯的双向冲洗。本实用新型通过控制四个球阀的开启状态，实现了对抛光液筒内滤芯的冲洗，从而解决了滤芯寿命短、抛光液流量有波动、抛光液供给速率不稳定、平坦度参数不良、抛光雾的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 粗抛液 过滤器 超纯水 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
一种粗抛液过滤器超纯水冲洗装置，在装有滤芯的抛光液筒（6）相对的两侧分别设置有带有进液球阀（8）的抛光液进液管（7）和带有排液球阀（4）的抛光液排液管（5），其特征在于：所述冲洗装置包括高压纯水供应管道（1）以及设置在其末端的高压纯水支管Ⅱ（2）和高压纯水支管Ⅰ（10），其中，高压纯水支管Ⅱ（2）和高压纯水支管Ⅰ（10）上分别设置有纯水球阀Ⅱ（3）和纯水球阀Ⅰ（9），且高压纯水支管Ⅱ（2）的另一端连接在抛光液排液管（5）上排液球阀（4）与抛光液筒（6）之间的位置上，高压纯水支管Ⅰ（10）的另一端连接在抛光液进液管（7）上进液球阀（8）与抛光液筒（6）之间的位置上，通过控制纯水球阀Ⅱ（3）、排液球阀（4）、进液球阀（8）和纯水球阀Ⅰ（9）的通断，实现对抛光液筒（6）内滤芯的双向冲洗。
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