[实用新型]一种减少低压化学气相沉积多晶硅崩边的舟

摘要

一种减少低压化学气相沉积多晶硅崩边的舟，涉及一种多晶硅生长工艺中承载硅片用的舟，包括瓦片、设置在瓦片内的上槽棒和下槽棒，以及设置在瓦片底部的脚棒和舟插管，所述上槽棒设置为两个，下槽棒设置为一个并位于瓦片内底部的中心位置，在瓦片内下槽棒的两侧对称设有两个支撑棒，硅片通过上槽棒和下槽棒上开设的定位槽定位，并支撑在两个支撑棒上，两支撑棒的支撑面均为圆弧面，圆弧支撑面上设有磨砂层，该磨砂层上均布有颗粒状的凸起，以使硅片与两支撑棒之间的接触为多点接触。本实用新型能够减少多晶背封后硅片与舟之间的粘结力，以及硅片在舟槽内的变形，从而减少崩边的发生。

主权项

一种减少低压化学气相沉积多晶硅崩边的舟，包括瓦片（5）、设置在瓦片（5）内的上槽棒（1）和下槽棒（2），以及设置在瓦片（5）底部的脚棒（4）和舟插管（6），其特征在于：所述上槽棒（1）设置为两个，下槽棒（2）设置为一个并位于瓦片（5）内底部的中心位置，在瓦片（5）内下槽棒（2）的两侧对称设有两个支撑棒（3），硅片（7）通过上槽棒（1）和下槽棒（2）上开设的定位槽定位，并支撑在两个支撑棒（3）上，两支撑棒（3）的支撑面均为圆弧面，圆弧支撑面上设有磨砂层（9），该磨砂层（9）上均布有颗粒状的凸起，以使硅片（7）与两支撑棒（3）之间的接触为多点接触。