[实用新型]一种基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置

摘要

本实用新型公开了一种基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，混合器发生装置包括臭氧发生器、压缩空气输送管道和混合器；臭氧发生器的臭氧出口通过臭氧输送管道连接混合器，压缩空气通过压缩空气输送管道连接混合器，混合器通过混合气输送管道连接混和气输出端；混合器输出端连接在匀流板的进气口；匀流板内为空心，其一端开有进气口，下端壁上均匀开有多个出气孔；匀流板安装在电池片制作设备的刻蚀装置和PECVD装置之间的硅片传输轨道上方，出气孔正对硅片传输轨道；臭氧发生器上安装有控制臭氧产生量的装置。本实用新型能够在沉积氮化硅薄膜之前于硅片表面迅速生长氧化硅薄膜，提升光伏电池抗PID效应，延长其使用寿命。

主权项

一种基于链式氧化法提升太阳电池抗PID效应的装置，其特征在于：其包括混合器发生装置和匀流板，混合器发生装置包括臭氧发生器、压缩空气输送管道和混合器；臭氧发生器的臭氧出口通过臭氧输送管道连接混合器，压缩空气通过压缩空气输送管道连接混合器，混合器通过混合气输送管道连接混和气输出端；混合器输出端连接在匀流板的进气口；匀流板内为空心，其一端开有进气口，下端壁上均匀开有多个出气孔；匀流板安装在电池片制作设备的刻蚀装置和PECVD装置之间的硅片传输轨道上方，出气孔正对硅片传输轨道；臭氧发生器上安装有控制臭氧产生量的装置。