[实用新型]多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚有效
申请号: | 201520545783.1 | 申请日: | 2015-07-24 |
公开(公告)号: | CN204874821U | 公开(公告)日: | 2015-12-16 |
发明(设计)人: | 芮敏之 | 申请(专利权)人: | 美尔森先进石墨(昆山)有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 昆山四方专利事务所 32212 | 代理人: | 盛建德;段新颖 |
地址: | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚,包括底板和四个侧板,所述底板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部,所述侧板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内顶部,四个侧板首尾相接形成一方筒,所述方筒的底部开口置于所述底板上侧,每个所述侧板的外侧设有一层保温层。本实用新型省去了固定侧板与底板的限位块,可使石墨坩埚自然缩胀,避免损坏,且能够在加热保温时有效防止热量流失。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 高效能 石墨 坩埚 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉高效能型石墨坩埚,其特征在于:包括底板(1)和四个侧板(2),所述底板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内底部,所述侧板定位于所述铸锭炉的炉腔壳体内顶部,四个侧板首尾相接形成一方筒,所述方筒的底部开口置于所述底板上侧,每个所述侧板的外侧设有一层保温层(3)。
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