[实用新型]一种超高灵敏度检漏设备

摘要

本实用新型提供一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室，分子泵，前级泵，四极质谱仪和吸气剂泵。吸气剂泵能够将残留在检漏室内部无法被分子泵抽出的氢气分子进一步向外抽出，且将检漏室内部的氦气留存于检漏室内部，从而使检漏室的容纳空间达到极为纯净的真空状态，使四极质谱仪可以不受干扰的检测从工件泄漏出的所有氦气，提高了检漏灵敏度；另外，本实用新型的吸气剂泵还可以维持检漏室的超高真空度，使四极质谱仪能够在超高真空的环境下对工件进行检漏，进一步提高了检漏灵敏度。经测试，本实用新型的超高灵敏度检漏设备最小可检漏率可达1×10^-13pa·m³/S，完全能够满足诸如红外器件中杜瓦瓶、陀螺仪等检漏需要。

主权项

一种超高灵敏度检漏设备，包括检漏室（1），具有容纳空间，用于容置待检工件；分子泵（2），与所述检漏室（1）连通，用于对所述检漏室（1）进行抽真空，在所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通的管路上设有第一阀门（F1）；前级泵（3），通过所述分子泵（2）与所述检漏室（1）连通，用于在所述分子泵（2）对所述检漏室（1）抽真空之前，先对所述检漏室（1）进行预抽；四极质谱仪（4），与所述检漏室（1）连通，用于检测所述待检工件的漏率，在所述四极质谱仪（4）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第二阀门（F2）；其特征在于：还包括与所述检漏室（1）连通的吸气剂泵（5），所述吸气剂泵（5）适于将残留在所述检漏室（1）内的氢气分子向外抽出，且将所述检漏室（1）内部的氦气留存于所述检漏室（1）内，在所述吸气剂泵（5）与所述检漏室（1）的连通管路上设有第三阀门（F3）。