[实用新型]微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置有效
| 申请号： | 201520556793.5 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN204944965U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 董景石;周永臣;马志超;刘长宜;赵宏伟;刘先华;孙霁雯;刘陶然;关键 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42 |
| 代理公司： | 长春市四环专利事务所(普通合伙) 22103 | 代理人： | 张建成 |
| 地址： | 130022 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置，其包括宏动调整机构、精密压入单元、载荷与位移信号检测单元以及划痕驱动单元，x向宏动调整机够安装在基座上,y向宏动调整机够安装在x向滑台上，精密压入单元安装在宏动调整机够的y向滑台上,力传感器和y向封装压电陶瓷分别安装在y向柔性铰链前端和内部,采用封装压电陶瓷进行位移信号检测，通过力传感器测出压入载荷，通过y向封装压电陶瓷实现精密驱动并测出压入位移，通过氮化硅加热元件对试件加热从而得到高温下的压痕载荷位移曲线；通过z向封装压电陶瓷实现精密刻划驱动，通过氮化硅加热元件对试件加热可以实时观测高温下材料的变形、损伤状况。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 精密 原位 纳米 压痕 刻划 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置，其特征在于：所述的压痕精密驱动和位移检测均由y向封装压电陶瓷(14)完成，压痕载荷信号采集由力传感器(16)完成，根据曲线拟合原理画出实际压痕的载荷位移曲线；通过氮化硅加热元件(21)对被测试件(19)加热可以得到高温下的压痕载荷位移曲线。
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