[实用新型]一种与制程设备配合的进气装置有效
申请号: | 201520558876.8 | 申请日: | 2015-07-29 |
公开(公告)号: | CN204849103U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 张淋;程强强 | 申请(专利权)人: | 苏州宝馨科技实业股份有限公司 |
主分类号: | C25D21/04 | 分类号: | C25D21/04 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 215151 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能制造设备领域,公开了一种与制程设备配合的进气装置,包括外壳体、进气口和出气口,所述外壳体设于制程设备的制程区域上方,所述出气口同时与外壳体和制程区域连通,所述出气口靠近所述制程区域的观察区,所述进气口与外壳体连通,并且偏离出气口的正上方区域。本实用新型的进气装置与太阳能湿制程设备配合,能够有效向远离观察区方向排出湿制程区域内的酸气废气,为制程区域提供高效照明,提高观测人的安全性和舒适度,结构简单、外观良好。 | ||
搜索关键词: | 一种 设备 配合 装置 | ||
【主权项】:
一种与制程设备配合的进气装置,其特征在于,包括外壳体(1)、进气口(2)和出气口(3),所述外壳体(1)设于制程设备(4)的制程区域(41)上方,所述出气口(3)同时与外壳体(1)和制程区域(41)连通,所述出气口(3)靠近所述制程区域(41)的观察区(42),所述进气口(2)与外壳体(1)连通,并且偏离出气口(3)的正上方区域。
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