[实用新型]一种半导体真空吸盘

摘要

本实用新型公开了一种半导体真空吸盘，包括吸盘上环、吸盘底板、多孔陶瓷上板、陶瓷密封环、中央孔、中央通道、手柄、内层通道、外层通道、夹持板和圆柱销，所述的陶瓷密封环安装在多孔陶瓷上板外圈，吸盘底板上平面外圈设有吸盘上环，吸盘底板中间设有中央孔，中央孔内部设有中央通道，多孔陶瓷上板包括外层吸盘和内层吸盘，多孔陶瓷上板上表面设有圆柱销，多孔陶瓷上板上设有夹持板。本实用新型采取内外层吸盘的设定，可用于加工不同尺寸的硅片，同时不同大小的硅片吸附时开启的吸附通道不一样，针对性强，减少功耗，圆柱销式的吸盘吸附面积大，吸附能力强，圆柱销均匀分布，定位夹持精度高，减少了灰尘粘附，降低灰尘的影响。

主权项

一种半导体真空吸盘，包括吸盘上环、吸盘底板、多孔陶瓷上板、陶瓷密封环、中央孔、中央通道、手柄、内层通道、外层通道、夹持板和圆柱销，其特征在于，所述的陶瓷密封环安装在多孔陶瓷上板外圈，多孔陶瓷上板设置在吸盘底板上，吸盘底板上平面外圈设有吸盘上环，吸盘上环设有有螺纹孔，吸盘底板中间设有中央孔，中央孔内部设有内螺纹，中央孔内部设有中央通道，中央通道外壁设有外螺纹，中央通道上设有手柄，中央孔顶端设有通气装置，多孔陶瓷上板包括外层吸盘和内层吸盘，多孔陶瓷上板上表面设有圆柱销，多孔陶瓷上板内部设有内层通道和外层通道，内层通道一端与通气装置的顶面连通，内层通道另一端出口设置在内层吸盘内，外层通道一端出口设置在外层吸盘内，外层通道另一端与通气装置的侧面连通，多孔陶瓷上板上设有夹持板。