[实用新型]一种一体式陶瓷电容压力传感器有效
| 申请号： | 201520562508.0 | 申请日： | 2015-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN204831646U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 赵兴奎;周宇波 | 申请（专利权）人： | 湖北美标中芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 襄阳嘉琛知识产权事务所 42217 | 代理人： | 严崇姚;潘文建 |
| 地址： | 441000 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型的名称为一种一体式陶瓷电容压力传感器。属于压力传感器技术领域。它主要是解决现有陶瓷电容式压力传感器厚片和薄片间密封性和粘结强度较低，造成可靠性不够的问题。它的主要特征是：包括弹性薄基板、厚基板、以及其之间的间隙隔离片；弹性薄基板、厚基板和间隙隔离片均为流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板、间隙隔离片和厚基板经烧结后成为一个整体。本实用新型具有确保陶瓷基板间的强度和密封性，提高产品可靠性的特点，主要用于陶瓷电容式压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 体式 陶瓷 电容 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种一体式陶瓷电容压力传感器，包括弹性薄基板（1）、厚基板（3），弹性薄基板（1）上设有薄基板金属电极（7）和薄基板电极焊盘（6），厚基板（3）上设有厚基板金属电极（10）、环形金属电极（11）、环形金属电极焊盘（13）、厚基板电极焊盘（12）、薄基板引线焊盘（14），厚基板电极焊盘（12）、环形金属电极焊盘（13）和薄基板引线焊盘（14）上均设有引线过孔（15），其特征在于：还包括设置在弹性薄基板（1）与厚基板（3）之间的间隙隔离片（17）；间隙隔离片（17）设有3个与引线过孔（15）对应的引线和焊盘过孔（18）；弹性薄基板（1）、厚基板（3）和间隙隔离片（17）均由流延成型的氧化铝或氧化锆生瓷片叠压而成；所述弹性薄基板（1）、间隙隔离片（17）和厚基板（3）经热压和热等静压压合后再经烧结成型为一体式压力传感器基体（5）。
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