[实用新型]一种直供冲水的湿法插片机有效
申请号: | 201520565643.0 | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN204809245U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 荆新杰;刘巍;李宁;李佩剑;韩庆辉;周为贞;牛猛;朱瑞忠 | 申请(专利权)人: | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 065201 河北省廊坊市三河市*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直供冲水的湿法插片机,包括中转水槽和硅片水槽;中转水槽内上端一侧设置有进水管道,中转水槽内下端设置有过滤器;硅片水槽内一侧设置有硅片篮,硅片篮内放置有硅片,硅片篮的近上端设置有用于传送硅片的吸附传输机构;中转水槽内的过滤器通过第一连接水管连接离心水泵,离心水泵通过第二连接水管连通到硅片水槽内,第二连接水管连通到硅片水槽内的一端连接有喷头。本实用新型的目的是提供一种直供冲水的湿法插片机,采用中间储水槽方式,避免管道内抽空或管道内压力变化影响冲片水流速度,并防止管道内结絮。 | ||
搜索关键词: | 一种 冲水 湿法 插片机 | ||
【主权项】:
一种直供冲水的湿法插片机,其特征在于:包括 中转水槽(3),所述中转水槽(3)内上端一侧设置有进水管道(5),所述进水管道(5)延伸到中转水槽(3)内的部分连接有用于测水位的漂浮阀门(6),所述中转水槽(3)内下端设置有过滤器(4);硅片水槽(13),所述硅片水槽(13)内一侧设置有可上、下移动的硅片篮(10),所述硅片篮(10)内放置有硅片(11),所述硅片篮(10)的近上端设置有用于传送硅片(11)的吸附传输机构,所述吸附传输机构包括一级传送带(8)和用于将硅片(11)吸附到一级传送带(8)上的吸附装置(9);所述中转水槽(3)内的过滤器(4)通过第一连接水管(14)连接离心水泵(1),所述离心水泵(1)通过第二连接水管(15)连通到硅片水槽(13)内,所述第二连接水管(15)连通到硅片水槽(13)内的一端连接有喷头(12)。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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