[实用新型]一种晶圆盒运送系统有效
| 申请号： | 201520569182.4 | 申请日： | 2015-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN204809199U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 邬璐磊;李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆盒运送系统，包括：晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；其中：所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。本实用新型的晶圆盒运送系统中，晶圆盒取放装置的机械手上连接有颗粒清除装置，在机械手移动的过程中，晶圆盒搬运车上的传感器所在区域的颗粒可以被有效清除，从而减少了信息误报的情况，减少当机时间，使得晶圆盒运送小车的使用效率得到提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 运送 系统 | ||
【主权项】：
一种晶圆盒运送系统，包括：晶圆盒搬运车，用于装载并运输晶圆盒；所述晶圆盒搬运车上设有至少一个用于检测晶圆盒位置的传感器；搬运车传送装置，用于承载所述晶圆盒搬运车，并将所述晶圆盒搬运车传送至预设区域；晶圆盒取放装置，所述晶圆盒取放装置包括一对机械手，用于将晶圆盒放入或取出所述晶圆盒搬运车；其特征在于：所述机械手连接有用于清洗所述传感器所在区域的颗粒清除装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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