[实用新型]一种接触式乌氏干涉仪有效

专利信息
申请号: 201520577930.3 申请日: 2015-08-04
公开(公告)号: CN204924173U 公开(公告)日: 2015-12-30
发明(设计)人: 周知贵 申请(专利权)人: 昆山恒准技术服务有限公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215301 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种接触式乌氏干涉仪,包括接触式乌氏干涉仪主体、CCD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块,CCD相机安装在接触式乌氏干涉仪的物镜上,数据存储模块中记录有标准量块的测量数据,图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至运算处理模块,运算处理模块对图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理,提取数据存储模块中标准量块的测量数据,计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异,得出的受检测量块的终值记录于数据存储模块,数据存储模块将终值显示于显示设备,该设备使用方便,操作简单,能够减少操作人员的作业负担,同时也减少因疲劳操作而形成的操作误差。
搜索关键词: 一种 接触 式乌氏 干涉仪
【主权项】:
一种接触式乌氏干涉仪,包括接触式乌氏干涉仪主体,其特征在于,还包括CCD相机、图像采集卡、运算处理模块、显示设备、数据存储模块,所述的CCD相机安装在所述接触式乌氏干涉仪主体的物镜上,用以获取测量时的干涉条纹图像;所述数据存储模块中记录有标准量块的测量数据,包括坐标位置数值和测量值;所述图像采集卡用以将获取的干涉条纹图像传送至所述运算处理模块;所述运算处理模块对所述图像采集卡传送的干涉条纹图像进行二值化处理包括测量值和计算出干涉条纹的中心坐标获得的数值,提取所述数据存储模块中标准量块的测量数据,计算出数据中受检测量块与标准量块的坐标位置数值和测量值差异,得出的受检测量块的终值记录于所述数据存储模块,所述数据存储模块将终值显示于所述显示设备。
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