[实用新型]一种二维角度摆动驱动器

摘要

本实用新型属于超高真空设备的二维驱动领域，特别涉及一种二维角度摆动驱动器。该驱动器接真空腔体法兰的一侧与螺旋直线驱动器的一端相连，螺旋直线驱动器的另一端通过驱动管与微分头直线导入器的一端相连，驱动管内为平推中心轴，驱动管、固定转接件、平推中心轴的一端穿过接真空腔体法兰后分别与螺旋直线驱动器相连，平推中心轴的另一端连接平推杆，平推杆的前方为旋转轴，旋转轴连接被驱动件，旋转轴的下部插接于轴承中，旋转座的一端与固定转接件的一端相连，旋转座与旋转轴上均设有弹簧安装孔，弹簧安装孔之间连接弹簧。本实用新型采用螺旋直线驱动器结合微分头直线驱动器，无论真空内外均对磁环境没有严格要求，且驱动的精度高、操纵性好。

主权项

一种二维角度摆动驱动器，其特征在于：接真空腔体法兰（1）的一侧与螺旋直线驱动器（2）的一端相连，螺旋直线驱动器（2）的另一端通过驱动管（4）与微分头直线导入器（3）的一端相连，平推中心轴（7）的一端与螺旋直线驱动器（2）相连，平推中心轴（7）的另一端连接平推杆（8），平推杆（8）的前方为旋转轴（9），旋转轴（9）连接被驱动件（10），旋转轴（9）连接旋转座（6），旋转座（6）的一端通过固定转接件（5）与螺旋直线驱动器（2）相连，旋转座（6）与旋转轴（9）上均设有弹簧安装孔（13），弹簧安装孔（13）之间连接弹簧（12）。