[实用新型]真空溅射设备及用其制备得到的复合铝箔有效
申请号: | 201520585834.3 | 申请日: | 2015-08-06 |
公开(公告)号: | CN205313659U | 公开(公告)日: | 2016-06-15 |
发明(设计)人: | 相小琴 | 申请(专利权)人: | 常州富烯科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04 |
代理公司: | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人: | 刘汉民 |
地址: | 213100 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种真空溅射设备及用其制备得到的复合铝箔,包括真空溅射室以及设于所述真空溅射室内的阴极板、铝箔放卷辊、铝箔收卷辊、铝箔传动辊,所述真空溅射室底部室壁上设有抽真空口和氩气入口,所述阴极板设于真空溅射室内上方,所述阴极板上附有石墨烯块料,所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊设于所述阴极板下方两侧,分别完成铝箔的放卷和收卷,所述铝箔传动辊设于所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊之间,用于使铝箔在阴极板下方水平传动,便于石墨烯块料镀于铝箔上。本实用新型的石墨烯层薄,节省原材料且吸附效果好。相对于贴附的石墨烯膜,铝箔和石墨烯层之间没有一层粘着剂,产品导热性能更佳,石墨烯真空溅射,附着效果好。 | ||
搜索关键词: | 真空 溅射 设备 制备 得到 复合 铝箔 | ||
【主权项】:
一种真空溅射设备,其特征在于:包括真空溅射室以及设于所述真空溅射室内的阴极板、铝箔放卷辊、铝箔收卷辊、铝箔传动辊,所述真空溅射室底部室壁上设有抽真空口和氩气入口,所述阴极板设于真空溅射室内上方,所述阴极板上附有石墨烯块料,所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊设于所述阴极板下方两侧,分别完成铝箔的放卷和收卷,所述铝箔传动辊设于所述铝箔放卷辊和铝箔收卷辊之间,用于使铝箔在阴极板下方水平传动,便于石墨烯块料镀于铝箔上。
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