[实用新型]上排气热场单晶炉有效
| 申请号： | 201520596641.8 | 申请日： | 2015-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN204849115U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 徐由兵;曾世铭;高一凡;李英涛;贾瑞峰;邹凯;高兆伍;刘小明;陈家俊 | 申请（专利权）人： | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 姜燕;王卫忠 |
| 地址： | 014100 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种上排气热场单晶炉，所述上排气热场单晶炉包括主炉室、导流筒、石英坩埚、上保温筒和抽空口，所述上保温筒上开设有多个在所述上保温筒的圆周上均匀分布的孔口，经所述孔口形成所述上排气热场单晶炉的上排气通道，所述上排气通道经所述导流筒、所述石英坩埚内的液面、向上经过所述孔口、向下经过所述主炉室的内壁至所述抽空口。本实用新型可提高硅单晶的成品率并降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 热场单晶炉 | ||
【主权项】：
一种上排气热场单晶炉，所述上排气热场单晶炉包括主炉室、导流筒、石英坩埚、上保温筒和抽空口，其特征在于，所述上保温筒上开设有多个在所述上保温筒的圆周上均匀分布的孔口，经所述孔口形成所述上排气热场单晶炉的上排气通道，所述上排气通道经所述导流筒、所述石英坩埚内的液面、向上经过所述孔口、向下经过所述主炉室的内壁至所述抽空口。
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