[实用新型]一种多线切割机用组合式斜铁有效
| 申请号： | 201520601625.3 | 申请日： | 2015-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN204869292U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 寇文杰;焦二强;陈卫群;李战国 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471000 河南省洛*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种多线切割机用组合式斜铁，适用于半导体、太阳能单晶硅片切割加工中夹紧工件晶托。本实用新型是在斜铁（1）端平面的下部加工有三个圆柱体腔（3），圆柱体腔（3）的底部各开有垂直于圆柱体腔（3）的顶丝孔（4），耐磨圆柱体（5）装在圆柱体腔（3）内，用内六方顶丝（2）锁紧。本实用新型解决了因斜铁（1）长期使用，在斜铁（1）与内六方顶丝（2）接触的段端面上形成的不规则深浅不一的小坑，切割中内六方顶丝（2）滑到小坑中，造成晶棒的震动而使硅片的弯曲度（BOW）、翘曲度（Warp）、总厚度公差（TTV）变大或报废问题。本实用新型在使用中如耐磨圆柱体（5）出现深浅不一的小坑时，只需更换耐磨圆柱体（5）即可。本实用新型结构简单，大大降低了斜铁的采购成本，提高了产品的成品率和斜铁的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割机 组合式 | ||
【主权项】：
一种多线切割机用组合式斜铁，其特征是：所述的多线切割机用组合式斜铁是由斜铁（1）、内六方顶丝（2）、圆柱体腔（3）、顶丝孔（4）、耐磨圆柱体（5）组成；其中，在斜铁（1）端平面的下部等距离加工有三个圆柱体腔（3），三个圆柱体腔（3）的底部各开有一个垂直于圆柱体腔（3）的顶丝孔（4）；耐磨圆柱体（5）装在圆柱体腔（3）内，通过顶丝孔（4）用内六方顶丝（2）锁紧。
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