[实用新型]一种组合式石英舟

摘要

一种组合式石英舟，包括舟体和覆盖在舟体上部的石英玻璃护板，舟体的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽，其中，横柱五、横柱六、横柱三和横柱四分成两组对称设置在舟体的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板配合放置6英寸和5英寸单晶硅样块；横柱一和横柱二设置在舟体的底部，以使其与横柱三、横柱四配合放置4英寸单晶硅样块。本实用新型通过在石英舟舟体的侧壁和底部设置横柱以及沟槽，使其与石英玻璃护板配合实现兼容4英寸、5英寸、6英寸的单晶硅样块，减少现场石英舟配置，操作方便、劳动效率高，并且能够兼容1~5mm厚度的单晶硅样块。

主权项

一种组合式石英舟，包括舟体（1）和覆盖在舟体（1）上部的石英玻璃护板（8），其特征在于：所述石英玻璃护板（8）的中部设有矩形槽（12），该矩形槽（12）的长度方向与舟体（1）的长度方向相同，且沿矩形槽（12）长度方向的两侧对称分布有若干横槽（13）；所述舟体（1）的两侧壁和底部沿其的长度方向设置六根横柱，且六根横柱上均设置有垂直横柱轴向的沟槽（14），该沟槽（14）的位置和宽度与石英玻璃护板（8）上横槽（13）的位置和宽度对应；所述舟体（1）的两侧壁倾斜设置，且两侧壁下部的间距小于上部的间距，六根横柱中的横柱五（6）、横柱六（7）、横柱三（4）和横柱四（5）分成两组对称设置在舟体（1）的两侧壁的不同高度上，以使其与石英玻璃护板（8）配合放置6英寸单晶硅样块（11）和5英寸单晶硅样块（10）；六根横柱中的横柱一（2）和横柱二（3）设置在舟体（1）的底部，以使其与横柱三（4）、横柱四（5）配合放置4英寸单晶硅样块（9）。