[实用新型]芯片甩干机有效
申请号: | 201520631495.8 | 申请日: | 2015-08-20 |
公开(公告)号: | CN204927250U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 马白云;尚保卫;龚江川;王斌 | 申请(专利权)人: | 咸阳文林机电设备制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 712000 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种芯片甩干机,包括机架(1)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)、甩干桶(5)、喷淋装置(6)、热氮吹干装置(7)、控制系统(8)、除静电装置(9)、检测装置(10)和排水系统(11);所述设备机架(1)上方设置有控制系统(8);所述设备机架(1)后方设置有检测装置(10)和排水系统(11);所述设备机架(1)内部设置有甩干桶(5)、喷淋装置(6)、除静电装置(9)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)和热氮吹干装置(7)。本实用新型的芯片甩干机是国内首台实现多品种兼容的多工位双头芯片甩干机。它通过变频技术及动平衡技术,使得甩干桶内可兼容安装多种型号的多工位旋转架,并保障在高低速工作状态下旋转架及整机无振动低噪音。 | ||
搜索关键词: | 芯片 甩干机 | ||
【主权项】:
一种芯片甩干机,其特征在于:包括机架(1)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)、甩干桶(5)、喷淋装置(6)、热氮吹干装置(7)、控制系统(8)、除静电装置(9)、检测装置(10)和排水系统(11);所述设备机架(1)上方设置有控制系统(8);所述设备机架(1)后方设置有检测装置(10)和排水系统(11);所述设备机架(1)内部设置有甩干桶(5)、喷淋装置(6)、除静电装置(9)、旋转架(2)、联轴器(3)、电机(4)和热氮吹干装置(7)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造