[实用新型]基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备有效
| 申请号： | 201520633127.7 | 申请日： | 2015-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN204849007U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 饶伟雄 | 申请（专利权）人： | 梅州市南粤新能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司 44218 | 代理人： | 徐庆莲 |
| 地址： | 514500 广东省梅州市兴宁市东莞石*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置，机架内部设置有扩散泵，所述机架一侧设置有电控机构，所述电控机构一侧设置有机械泵，所述机架上方设置有真空室，所述真空室内部设置有挡油板，所述挡油板上方设置有蒸发源，所述蒸发源连接着所述蒸发电极，所述蒸发源上方设置有挡板，所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极，所述挡板上方设置有基片，所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。有益效果在于：该设备镀膜过程无喷溅，薄膜致密均匀，能有效地提高镀膜品质，应用范围广，经济价值高。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光学 镀膜 技术 太阳能 热管 设备 | ||
【主权项】：
一种基于光学镀膜技术的太阳能集热管镀膜设备，其特征在于：包括蒸发电极、离子轰击电极和基片烘烤加热装置，机架内部设置有扩散泵，所述机架一侧设置有电控机构，所述电控机构一侧设置有机械泵，所述机架上方设置有真空室，所述真空室内部设置有挡油板，所述挡油板上方设置有蒸发源，所述蒸发源连接着所述蒸发电极，所述蒸发源上方设置有挡板，所述挡板一侧设置有所述离子轰击电极，所述挡板上方设置有基片，所述基片上方设置有所述基片烘烤加热装置。
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