[实用新型]一种固定晶圆的托盘装置

摘要

本实用新型涉及特征尺寸扫描式电子显微镜量测镜片装置技术领域，解决现有技术中采用特征尺寸扫描式电子显微镜对晶圆进行量测时，随着晶圆托盘高速运动，晶圆与固定装置固定不牢固，产生偏移，使得自动量测过程存在偏差的技术问题，通过提供一种固定晶圆的托盘装置，包括托盘、第一顶针、第二顶针和第三顶针，第一顶针的一端固定于托盘，另一端设置有弧形限位部，弧形限位部与晶圆的边缘面相适配，第二顶针的一端固定于托盘，第三顶针的一端固定于托盘，另一端设置有限位弹簧，第一顶针的弧形限位部、第二顶针的另一端和第三顶针的限位弹簧间隔分布在晶圆的边沿并且均抵靠晶圆，以固定晶圆，进而能够将晶圆固定牢固，使得自动量测能够精确测量。

主权项

一种固定晶圆的托盘装置，其特征在于，包括托盘、第一顶针、第二顶针和第三顶针，所述托盘用于放置晶圆，所述第一顶针的一端固定于所述托盘，另一端设置有弧形限位部，所述弧形限位部与所述晶圆的边缘面相适配，所述第二顶针的一端固定于托盘，所述第三顶针的一端固定于托盘，另一端设置有限位弹簧，所述第一顶针的弧形限位部、所述第二顶针的另一端和所述第三顶针的限位弹簧间隔分布在所述晶圆的边沿并且均抵靠所述晶圆，以固定所述晶圆。