[实用新型]回收系统有效
| 申请号： | 201520648000.2 | 申请日： | 2015-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN205011391U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 杨永亮;张志刚;司文学;蒋国瑜;严大洲 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 赵囡囡;吴贵明 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种回收系统。该回收系统包括：冷凝单元，还原尾气通过冷凝单元后得到不凝气体和冷凝后液体，且冷凝单元的出口连接有不凝气体输出管道和冷凝后液体输出管道；吸脱附单元，与不凝气体输出管道连接，吸脱附单元用于将不凝气体中的氢气分离出来，不凝气体通过吸脱附单元发生吸附和脱附后得到脱附气体，且吸脱附单元的出口连接有氢气输出管道和脱附气体输出管道，且氢气输出管道连接于多晶硅还原系统的入口，脱附气体输出管道连接于四氯化硅氢化系统的入口。利用上述回收系统避免了液态氯硅烷物料的频繁升、降温，降低了干法回收系统中冷、热量的消耗，避免了其返回回收系统的冷凝单元浪费冷量，同时也避免了杂质的富集。 | ||
| 搜索关键词： | 回收 系统 | ||
【主权项】：
一种回收系统，用于回收多晶硅还原系统(30)产生的还原尾气，所述多晶硅还原系统(30)与四氯化硅氢化系统(20)连通，其特征在于，所述回收系统(10)包括：冷凝单元(110)，所述还原尾气通过所述冷凝单元(110)后得到不凝气体和冷凝后液体，且所述冷凝单元(110)的出口连接有不凝气体输出管道和冷凝后液体输出管道；吸脱附单元(120)，与所述不凝气体输出管道连接，所述吸脱附单元(120)用于将所述不凝气体中的氢气分离出来，所述不凝气体通过所述吸脱附单元(120)发生吸附和脱附后得到脱附气体，且所述吸脱附单元(120)的出口连接有氢气输出管道(122)和脱附气体输出管道(121)，且所述氢气输出管道(122)连接于所述多晶硅还原系统(30)的入口，所述脱附气体输出管道(121)连接于所述四氯化硅氢化系统(20)的入口。
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