[实用新型]硅片清洗设备用烘干机有效
| 申请号： | 201520649469.8 | 申请日： | 2015-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN204854283U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 王会敏;何京辉;李立伟;张立涛;张稳 | 申请（专利权）人： | 邢台晶龙电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B15/12 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 李瑞妍 |
| 地址： | 054001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗设备用烘干机，涉及硅片加工技术领域。本实用新型包括硅片清洗设备，所述硅片清洗设备出料端的工作台向外延长形成烘干硅片的烘干工作台，烘干工作台外设有密封罩，密封罩与烘干工作台形成烘干硅片的烘道，密封罩的底部侧面设有出风口，密封罩的顶部设有密封罩进风口，安装在密封罩外的鼓风机出风口与密封罩进风口连通，鼓风机进风口与密封罩的出风口连通，清洗完成后的硅片从清洗设备的工作台直接输送至烘干工作台上进入烘道，在鼓风机的作用下快速烘干，烘干后的硅片输送至烘干工作台的另一端，完成烘干。本实用新型是在对原有的硅片清洗设备进行改进后，实现对清洗完的硅片自动烘干，提高生产效率，减少企业的设备投资成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 备用 烘干机 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗设备用烘干机，包括硅片清洗设备（1），其特征在于，所述硅片清洗设备（1）出料端的工作台向外延长形成烘干硅片的烘干工作台，烘干工作台外设有密封罩（2），密封罩（2）与烘干工作台形成烘干硅片的烘道，密封罩（2）的底部侧面设有出风口，密封罩（2）的顶部设有密封罩进风口（5），安装在密封罩（2）外的鼓风机（3）的出风口与密封罩进风口（5）连通，鼓风机进风口（6）与密封罩（2）的出风口连通，清洗完成后的硅片从硅片清洗设备（1）的工作台直接输送至烘干工作台上进入烘道，在鼓风机（3）的作用下快速烘干，烘干后的硅片输送至烘干工作台的另一端，完成烘干。
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