[实用新型]软性材料的金属移除装置有效
申请号: | 201520650878.X | 申请日: | 2015-08-26 |
公开(公告)号: | CN204945614U | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 黄正忠;吴守满 | 申请(专利权)人: | 迅得机械股份有限公司 |
主分类号: | G03F1/68 | 分类号: | G03F1/68;G03F1/60;G03F1/82 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李静;马强 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种软性材料的金属移除装置,所述软性材料的金属移除装置包括一腔体、一转印体载台、一软性材料载台及一上盖。腔体的内部形成有一下腔室,腔体的顶部设有一开口,开口与下腔室相连通。转印体载台设置于腔体的下腔室内,转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元,置放台用于承载一转印体。软性材料载台设置于腔体的开口处,软性材料载台用以放置一软性材料,软性材料载台设有一透孔。上盖选择性地压制固定于软性材料载台及软性材料上,上盖与软性材料之间形成有一上腔室,上腔室能形成正压的状态。本实用新型提供的软性材料的金属移除装置用于移除软性材料的金属,其操作简单容易,使生产成本得以降低。 | ||
搜索关键词: | 软性 材料 金属 装置 | ||
【主权项】:
一种软性材料的金属移除装置,其特征在于,所述软性材料的金属移除装置包括:一腔体,所述腔体的内部形成有一下腔室,所述腔体的顶部设有一开口,所述开口与所述下腔室相连通;一转印体载台,所述转印体载台设置于所述腔体的所述下腔室内,所述转印体载台包含一置放台、一加热单元及一冷却单元,所述置放台用于承载一转印体;一软性材料载台,所述软性材料载台设置于所述腔体的所述开口处,所述软性材料载台用以放置一软性材料,所述软性材料载台设有一透孔;以及一上盖,所述上盖选择性地压制固定于所述软性材料载台及所述软性材料上,所述上盖与所述软性材料之间形成有一上腔室,所述上腔室能形成正压的状态。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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